[发明专利]气体感测器的制作方法有效
| 申请号： | 201710494150.6 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107686965B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 孟心飞;冉晓雯;陈兆轩;张宇帆 | 申请（专利权）人： | 财团法人交大思源基金会 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14;G01N21/64 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 一种气体感测器的制作方法，包含一准备步骤、一感测单元形成步骤及一金属层形成步骤。该准备步骤包括准备一导电基板。该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成一感测单元。该金属层形成步骤包括以蒸镀法在该感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔洞的金属层，而让该感测单元的表面自所述感测孔洞露出。通过该金属层自行产生多个让该感测单元的表面露出的感测孔洞，能有效简化整体制程，及免除使用有机溶剂而避免该感测单元被破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 感测器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种气体感测器的制作方法，其特征在于：该气体感测器的制作方法包含准备步骤、感测单元形成步骤及金属层形成步骤，该准备步骤包括准备导电基板，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成感测单元，该金属层形成步骤包括以蒸镀法在该感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔洞的金属层，而让该感测单元的表面自所述感测孔洞露出，其中，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成导电高分子材料所制成的主动层而构成该感测单元，该金属层形成步骤包括在该主动层上形成该金属层。/n
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