[发明专利]一种管芯参数测试方法、适配装置及该装置的安装方法有效

专利信息
申请号: 201710498176.8 申请日: 2017-06-26
公开(公告)号: CN109119352B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 贺振卿;银登杰;焦莎莎;李勇;王明;彭军华;刘栋;邹平;罗得;刘艳 申请(专利权)人: 株洲中车时代半导体有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 陈晖
地址: 412001 湖南省株洲市石峰*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种管芯参数测试方法、适配装置及该装置的安装方法,装置包括:阴极适配器和阳极适配器,管芯设置于阴极适配器与阳极适配器之间。阴极适配器包括阴极垫板、阴极块和门极件,阴极垫板、阴极块采用导电材料。阴极垫板设置有与管芯的门极图形对应的阴极垫板槽。门极件设置于阴极垫板槽中,并在测试时与管芯的门极相连。阴极垫板的一面与管芯的阴极相装配,另一面与阴极块相装配。阳极适配器进一步包括阳极块,及用于固定管芯的定位圈,阳极块采用导电材料,定位圈设置于阳极块的一面。阳极块设置有定位圈的一面在管芯测试时与管芯的阳极相装配。本发明能够解决传统管芯测试适配器需逐片装放与拆卸,测试效率和准确性不高的技术问题。
搜索关键词: 一种 管芯 参数 测试 方法 配装 装置 安装
【主权项】:
1.一种管芯参数测试适配装置,所述适配装置(100)与测试设备(200)相装配,用于对管芯(1)进行测试,其特征在于,包括:阴极适配器(10)和阳极适配器(20),所述管芯(1)设置于所述阴极适配器(10)与阳极适配器(20)之间;所述阴极适配器(10)进一步包括阴极垫板(2)、阴极块(3)和门极件(4),所述阴极垫板(2)、阴极块(3)采用导电材料;所述阴极垫板(2)设置有与所述管芯(1)的门极(11)相对应的阴极垫板槽(21);所述门极件(4)设置于所述阴极垫板槽(21)中,在所述管芯(1)被测试时与所述管芯(1)的门极(11)相连;所述阴极垫板(2)的一面与所述管芯(1)的阴极(12)相装配,另一面与所述阴极块(3)相装配,所述阴极块(3)还与所述测试设备(200)相装配;所述阳极适配器(20)进一步包括阳极块(5),及用于固定所述管芯(1)的定位圈(6),所述阳极块(5)采用导电材料,所述定位圈(6)设置于所述阳极块(5)的一面;所述阳极块(5)设置有定位圈(6)的一面在所述管芯(1)被测试时与所述管芯(1)的阳极(13)相装配,所述阳极块(5)的另一面与所述测试设备(200)相装配。
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