[发明专利]抗蚀剂组合物和图案化方法

摘要

本发明涉及抗蚀剂组合物和图案化方法。本发明的抗蚀剂组合物，其包括基础聚合物和含有碘代苯甲酰氧基的氟代磺酸的锍盐或碘鎓盐，无论其为正型或负型，都提供高感光度和最小的LWR或改善的CDU。

主权项

抗蚀剂组合物，包括基础聚合物和具有式(A‑1)的锍盐或具有式(A‑2)的碘鎓盐：其中R1为氢、羟基、羧基、硝基、氰基、氟、氯、溴、氨基，或者可含有氟、氯、溴、羟基、氨基或烷氧基部分的、直链、支化或环状的、C1‑C20烷基、C1‑C20烷氧基、C2‑C20烷氧基羰基、C2‑C20酰氧基或C1‑C4烷基磺酰氧基，或者‑NR7‑C(＝O)‑R8或‑NR7‑C(＝O)‑O‑R8，R7为氢，或者可含有卤素、羟基、烷氧基、酰基或酰氧基部分的直链、支化或环状的C1‑C6烷基，R8为直链、支化或环状的、C1‑C16烷基或C2‑C16烯基，或者C6‑C12芳基，其可含有卤素、羟基、烷氧基、酰基或酰氧基部分，X1当p＝1时为单键或者C1‑C20二价连接基团，或者当p＝2或3时为C1‑C20的三价或四价连接基团，所述连接基团任选地含有氧、硫或氮原子，Rf1至Rf4各自独立地为氢、氟或三氟甲基，Rf1至Rf4的至少一个为氟或三氟甲基，或者Rf1和Rf2一起可形成羰基，R2、R3、R4、R5和R6各自独立地为可含有氧代部分的直链、支化或环状的C1‑C12烷基，可含有氧代部分的直链、支化或环状的C2‑C12烯基，直链、支化或环状的C2‑C12炔基，C6‑C20芳基，C7‑C12芳烷基或者C7‑C12芳氧基烷基，其中至少一个氢可以被羟基、羧基、卤素、氰基、酰胺、硝基、磺内酯、砜或含有锍盐的部分取代，或者其中醚、酯、羰基、碳酸酯或磺酸酯部分可介于碳原子之间，或者R2和R3可键合在一起以与它们结合的硫原子形成环，m为1‑5的整数，n为0‑3的整数，并且p为1‑3的整数。