[发明专利]一种抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 201710506135.9 | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN107267991A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 王飞 | 申请（专利权）人： | 合肥博之泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/00 | 分类号： | C23F3/00 |
| 代理公司： | 合肥道正企智知识产权代理有限公司34130 | 代理人： | 张浩 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市肥西县上派*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液及其制备方法，其中，所述制备方法包括将硫酸、硝酸、盐酸、消泡剂、水、和辅助氧化剂搅拌混合形成混合液A；将所述混合液A加热，并加入硫酸铜和二氧化硅，搅拌混合、静置后得到所述抛光液，解决了普通的抛光液的氧化速度慢，导致抛光效果较差，择优腐蚀不明显的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种抛光液，其特征在于，所述抛光液包括硫酸、硝酸、盐酸、硫酸铜、消泡剂、水、二氧化硅和辅助氧化剂，其中，相对于100重量份的硫酸，所述硝酸的含量为20‑30重量份，所述盐酸的含量为5‑10重量份，所述硫酸铜的含量5‑15重量份，所述消泡剂的含量为2‑5重量份，所述水的含量为50‑70重量份，所述二氧化硅的含量为2‑8重量份，所述辅助氧化剂的含量为1‑4重量份。
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