[发明专利]具有悬臂式微机电探针的探针模块及其制造方法

摘要

本发明涉及一种具有悬臂式微机电探针的探针模块的制造方法，其提供一电路基板，所述电路基板具有朝向相反方向的第一、二表面，先利用微机电制程在所述第一表面形成一悬臂式微机电探针，所述悬臂式微机电探针具有一与所述第一表面的一电性接点电性连接的支撑部、一与所述支撑部连接的悬臂，以及一与所述悬臂连接的针头，然后利用一刀具以从所述第二表面朝所述第一表面的方向在所述电路基板加工出一穿孔，使得所述穿孔的位置对应于所述针头及所述悬臂；由此，本发明能以较简便、较省时且成本较低的方式使悬臂式微机电探针具有较短的支撑部但仍可避免碰撞电路基板。

主权项

一种具有悬臂式微机电探针的探针模块的制造方法，包含有下列步骤：a)提供一电路基板，所述电路基板具有朝向相反方向的一第一表面及一第二表面，且所述第一表面具有一电性接点；b)利用微机电制程在所述电路基板的第一表面形成一悬臂式微机电探针，所述悬臂式微机电探针具有一与所述第一表面的电性接点电性连接的支撑部、一与所述支撑部连接的悬臂，以及一与所述悬臂连接的针头；c)利用一刀具以从所述第二表面朝所述第一表面的方向在所述电路基板加工出一贯穿所述电路基板的第一表面及第二表面的穿孔，使得所述穿孔的位置对应于所述针头及所述悬臂。