[发明专利]一种可移动充气式密封装置及其使用方法有效

专利信息
申请号: 201710519198.8 申请日: 2017-06-30
公开(公告)号: CN109216225B 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 张建 申请(专利权)人: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;F16J15/48
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 白振宇
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及充气式密封装置,具体地说是一种可移动充气式密封装置及其使用方法,密封装置安装在一个移动工艺站上,移动工艺站通过双直线导轨与固定工艺站连接,充气式密封圈底面通过胶带粘贴于密封圈固定槽内,充气式密封圈在排气状态时上表面低于密封圈固定槽,此时可进行移动工艺站的抽拉动作;充气式密封圈在充气状态时密封圈上表面膨胀高于密封圈固定槽的高度,这样可以与固定工艺站的密封钣金紧密贴合从而达到密封效果。本发明采用可移动充气式密封装置,既能保证两工艺站间良好的密封效果,又能使得当固定工艺站出现故障时,可以从移动工艺站处进入进行良好的维护。
搜索关键词: 一种 移动 充气式 密封 装置 及其 使用方法
【主权项】:
1.一种可移动充气式密封装置,其特征在于:包括充气式密封圈(1)、密封圈固定槽(2)、密封装置安装钣金(4)、充气系统及排气系统,其中密封装置整体通过密封装置安装钣金(4)安装在移动工艺站(A)朝向固定工艺站(B)的一侧表面,该移动工艺站(A)与固定工艺站(B)可相对移动地连接;所述密封装置安装钣金(4)设有所述密封圈固定槽(2),所述充气式密封圈(1)容置于密封圈固定槽(2)中,该充气式密封圈(1)上设有充气嘴(6),所述充气嘴(6)在充气时与充气系统相连通,处于充气状态的充气式密封圈(1)的上表面膨胀高出所述密封圈固定槽(2),与所述固定工艺站(B)密封抵接,所述充气嘴(6)在排气时与所述排气系统相连通,处于排气状态的充气式密封圈(1)的上表面低于所述密封圈固定槽(2),所述移动工艺站(A)可相对固定工艺站(B)进行抽拉移动。
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