[发明专利]一种智能型无污染半导体电镀机

摘要

本发明公开了一种智能型无污染半导体电镀机，包括底座箱，所述底座箱的一侧安装KS02Y控制器，且底座箱的内部安装有输送泵，所述输送泵的一端安装有取料管，且输送泵的另一端安装有输送管，所述取料管上设置有第二电磁阀,所述输送管远离输送泵的一端安装有第一电磁阀和分流管，所述第一电磁阀位于分流管的下方，所述底座箱的上安装有鼓风机、电镀原料箱和电镀箱，所述电镀原料箱位于电镀箱的一侧，所述电镀原料箱和电镀箱均位于鼓风机的一侧，所述鼓风机与电镀箱通过气体收集管连接，本发明设置了鼓风机和过滤网，能抽离并过滤电镀箱内电镀半导体晶圆凸块时所产生的危害气体，确保工作人员不会因产生的危害气体危及身体健康。

主权项

1.一种智能型无污染半导体电镀机，包括底座箱（12），其特征在于：所述底座箱（12）的一侧安装KS02Y控制器（13），且底座箱（12）的内部安装有输送泵（11），所述输送泵（11）的一端安装有取料管（20），且输送泵（11）的另一端安装有输送管（10），所述取料管（20）上设置有第二电磁阀（14）,所述输送管（10）上远离输送泵（11）的一端安装有第一电磁阀（9）和分流管（8），所述第一电磁阀（9）位于分流管（8）的下方，所述底座箱（12）的顶端安装有鼓风机（17）、电镀原料箱（16）和电镀箱（3），所述电镀原料箱（16）位于电镀箱（3）的一侧，所述电镀原料箱（16）和电镀箱（3）均位于鼓风机（17）的一侧，所述鼓风机（17）与电镀箱（3）通过气体收集管（18）连接，所述气体收集管（18）的内部靠近鼓风机（17）的一侧位置处设置有过滤网（19），所述电镀箱（3）外壁远离电镀原料箱（16）的一侧安装有压力表（5），且电镀箱（3）的顶部安装有ORAP‑29044距离感应器（21），所述电镀箱（3）的内壁一侧安装有正极板（2），且电镀箱（3）的内壁一侧安装有负极板（4），所述电镀箱（3）的底端设置有两个卡合板（7），两个所述卡合板（7）之间的一端安装有吸引块（6），所述电镀原料箱（16）的底部安装有加热丝（15）和TR02012温度测量仪（1），所述TR02012温度测量仪（1）位于加热丝（15）的一侧，所述加热丝（15）、TR02012温度测量仪（1）、第二电磁阀（14）、正极板（2）、负极板（4）、第一电磁阀（9）、输送泵（11）和鼓风机（17）均与KS02Y控制器（13）电性连接。