[发明专利]埋入式字符线和鳍状结构上栅极的制作方法在审
| 申请号： | 201710537348.8 | 申请日： | 2017-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN109216433A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 詹电针;林哲平;吕佐文;吴劲苇;王育群;詹书俨 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司;福建省晋华集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/28;H01L29/423 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种埋入式字符线和鳍状结构上栅极的制作方法，该埋入式字符线的制作方法为，首先形成一沟槽于一基底，接着进行一沉积制作工艺，以在沟槽的内侧的一侧壁和一底部形成一硅材料层，在沉积制作工艺后，在沟槽内形成一栅极介电层，最后形成一导电层填入沟槽。 | ||
| 搜索关键词： | 埋入式 字符线 沉积制作工艺 鳍状结构 制作 栅极介电层 导电层填 硅材料层 基底 | ||
【主权项】：
1.一种埋入式字符线的制作方法，包含：形成一沟槽于一基底；进行一沉积制作工艺，以在该沟槽的内侧的一侧壁和一底部形成一硅材料层；在该沉积制作工艺后，在该沟槽内形成一栅极介电层；以及形成一导电层填入该沟槽。
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