[发明专利]一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法

摘要

本发明公开了一种石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔、以及用于密封锁腔的外门和内门，所述锁腔内设有滑轨以及用于承载石墨舟的托盘，所述滑轨位于所述外门和内门之间，所述托盘通过一滑块装设于所述滑轨上，所述锁腔上设有用于驱动所述滑轨的驱动机构。一种石墨舟进出上述负载锁的方法，包括以下步骤：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；关闭外门，将锁腔内抽真空；达到设计指标要求后，打开内门，驱动机构带动滑轨向内门移动，滑轨带动滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。本发明具有自动化程度高、操作便利、效率高、不影响石墨舟使用寿命等优点。

主权项

1.一种石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔（1）、以及用于密封锁腔（1）的外门（2）和内门（3），其特征在于：所述锁腔（1）内设有滑轨（4）以及用于承载石墨舟（5）的托盘（6），所述滑轨（4）位于所述外门（2）和内门（3）之间，所述托盘（6）通过一滑块（7）装设于所述滑轨（4）上，所述锁腔（1）上设有用于驱动所述滑轨（4）的驱动机构（8），所述驱动机构（8）包括齿条（81）、齿轮（82）、密封磁流体（83）、第一联轴器（84）以及步进电机（85），所述滑轨（4）与所述齿条（81）固定连接，所述齿轮（82）与所述齿条（81）啮合，所述密封磁流体（83）设于所述锁腔（1）上，所述步进电机（85）依次通过所述第一联轴器（84）和密封磁流体（83）与所述齿轮（82）驱动连接。