[发明专利]一种纳米压印模板及其制备方法在审
| 申请号： | 201710537845.8 | 申请日： | 2017-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN107121890A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 何晓龙;关峰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人： | 林桐苒,李丹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种纳米压印模板的制备方法及纳米压印模板，该方法包括提供基板，在所述基板上形成遮光条，所述遮光条将所述基板分隔为多个区域，每个区域对应一个待拼接的纳米压印模板单元；在所述基板及所述遮光条上涂覆压印胶；将所述纳米压印模板单元压印在其对应的区域的压印胶上；从所述基板远离所述压印胶的一侧照射紫外光，使得所述压印胶固化；将所述纳米压印模板单元从所述压印胶上脱模；去除所述遮光条上未固化的压印胶，以形成所述纳米压印模板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米压印模板的制备方法，其特征在于，包括：提供基板，在所述基板上形成遮光条，所述遮光条将所述基板分隔为多个区域，每个区域对应一个待拼接的纳米压印模板单元；在所述基板及所述遮光条上涂覆压印胶；将所述纳米压印模板单元压印在其对应的区域的压印胶上；从所述基板远离所述压印胶的一侧照射紫外光，使得所述压印胶固化；将所述纳米压印模板单元从所述压印胶上脱模；去除所述遮光条上未固化的压印胶，以形成所述纳米压印模板。
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