[发明专利]致动传感模块有效
| 申请号： | 201710557675.X | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN109238326B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;薛达伟;张英伦;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;韩永隆;黄启峰 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00;F04B45/047 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种致动传感模块，包含：一芯片；一传感器，沉积于该芯片上；以及一致动装置，封装于该芯片上，并设有一通道，且该通道位于该传感器一侧，该致动装置受驱动而致动压缩改变容积产生流体汲取作动，由该通道流出产生对流，以通过该传感器上量测所接收之流体。 | ||
| 搜索关键词： | 传感 模块 | ||
【主权项】：
暂无信息
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