[发明专利]基板保持器及使用该基板保持器的镀覆装置

摘要

本发明提供一种不使用板簧而具有新的定位构造的基板保持器及使用该基板保持器的镀覆装置。该基板保持器具有：具有构成为与基板接触的第一面的第一保持构件；及与第一保持构件一起夹着基板而对其保持的第二保持构件。第一保持构件具有将接触于第一面的基板定位于第一面的规定位置的定位构件。定位构件构成为在与基板的周缘部接触并将基板定位于第一面的规定位置的第一位置、以及不与基板接触的第二位置之间移动。第二保持构件具有以第一保持构件与第二保持构件保持基板时，使定位构件位于第一位置而构成的驱动构件。

主权项

一种基板保持器，其具有：第一保持构件，其具有构成为能够与基板接触的第一面；及第二保持构件，其与所述第一保持构件一起夹着所述基板来保持所述基板；所述第一保持构件具有定位构件，所述定位构件将接触于所述第一面的所述基板定位于所述第一面的规定位置，所述定位构件构成为在第一位置与第二位置之间移动，在所述第一位置，所述定位构件与所述基板的周缘部接触、并将所述基板定位于所述第一面的规定位置，所述第二位置为不与所述基板接触的位置，所述第二保持构件具有驱动构件，所述驱动构件构成为在由所述第一保持构件与所述第二保持构件保持所述基板时，使所述定位构件位于所述第一位置。