[发明专利]一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具

摘要

本发明公开了一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，由上下真空腔体板组成真空密封腔体，在真空腔体表面加工真空吸附孔阵列，通过真空排气管对真空腔体抽气，从而固定测试样品。该结构的优点在于充分利用背光照射宝石电极板可以避免正光照射镀金图形存在强烈反射的问题。该结构真空吸附夹具采用透光材料制备，使测试样品可以背光照射，对宝石电极板上高密度镀金图形可以清晰分辨，并且采用真空吸附方式固定测试样品不会造成样品表面污染和表面损伤。该结构的真空吸附夹具结构简单，容易加工，特别适合于高密度电极布线的宝石电极板飞针电学测试时样品的固定。

主权项

一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，包括上真空腔板(1)、下真空腔板(2)和真空排气管(3)，其特征在于：所述的真空吸附夹具由真空吸附夹具由上真空腔板(1)和下真空腔板(2)通过定位孔(1‑1)和定位螺纹孔(2‑1)螺接成真空密封腔体，通过夹具固定边(1‑3)将真空吸附夹具夹持在飞针测试设备上，宝石电极板等测试样品放置在上真空腔板(1)的真空吸附孔阵列(1‑2)区域，裸露的真空吸附孔阵列(1‑2)采用蓝膜覆盖，下真空腔体(2)内部镂空为中空腔体(4)，并加工真空排气孔(2‑2)紧配合真空排气管(3)，真空吸附夹具的抽气通道依次为下真空排气管(3)、真空排气孔(2‑2)、中空腔体(4)和真空吸附孔阵列(1‑2)，当测试样品上下表面形成压差，测试样品就牢固地吸附在测试平台上，测试完成后，停止抽气即可取下样品。