[发明专利]晶片承载设备

摘要

本发明公开一种晶片承载设备，其用以固定具有中央部分及周缘部分的晶片且包含承载平台、升降装置及固定装置。承载平台具有第一孔洞结构及支撑肋，支撑肋自第一孔洞结构的内壁向内突出。升降装置包含支撑平台及驱动臂。驱动臂连接于支撑平台以驱动支撑平台上升或下降。当支撑平台上升至支撑位置以支撑晶片时，晶片的中央部分平贴于支撑平台上以使晶片的周缘部分以面接触方式平贴于支撑肋的顶表面上。固定装置用来可释锁地固定晶片的周缘部分于顶表面上。在固定装置将晶片的周缘部分固定在支撑肋上后，支撑平台下降至缩回位置。

主权项

1.一种晶片承载设备，其用以固定一晶片，该晶片具有中央部分以及周缘部分，该晶片承载设备包含：承载平台，其具有第一孔洞结构以及支撑肋，该支撑肋自该第一孔洞结构的一内壁向内突出且对应该周缘部分以与该第一孔洞结构共同形成一承载空间；升降装置，其包含：支撑平台；以及驱动臂，其连接于该支撑平台以驱动该支撑平台上升至一支撑位置或下降至退出该第一孔洞结构之外的一缩回位置，该晶片的该中央部分在该支撑平台上升至该支撑位置以支撑放置在该承载空间中的该晶片时，平贴于该支撑平台上以使该晶片的该周缘部分以面接触方式平贴于该支撑肋的一顶表面上；以及固定装置，其用来可释锁地固定该晶片的该周缘部分于该支撑肋的该顶表面上；其中在该固定装置将该晶片的该周缘部分固定在该支撑肋上后，该支撑平台下降至该缩回位置。