[发明专利]一种柔性IC基板氧化面积检测系统及方法有效

专利信息
申请号: 201710576552.0 申请日: 2017-07-14
公开(公告)号: CN107369176B 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 胡跃明;钟智彦;罗家祥 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: G06T7/62 分类号: G06T7/62;G06T7/11;G06T5/50;G06T3/40;G01N21/956;G01N21/88
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 何淑珍
地址: 511458 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种超薄柔性IC基板氧化面积检测系统,包括:金相显微成像采集系统,包括摄像机,通过摄像机采集柔性IC基板各部分的高分辨率数字图像;图像融合系统,用于将拍摄完成后的所有图像拼接成完整的柔性IC基板图像;氧化面积快速检测系统,用于对所拼接的柔性IC基板高分辨率图像进行RGB‑HSI彩色空间转换及拓扑映射处理确定氧化面积区域。本发明还公开了一种超薄柔性IC基板氧化面积检测方法。本发明解决了柔性IC基板氧化检测过程的高分辨率显微图像面积快速计算难题,检测速度可靠。
搜索关键词: 一种 柔性 ic 氧化 面积 检测 系统 方法
【主权项】:
一种超薄柔性IC基板氧化面积检测系统,其特征在于,包括:金相显微成像采集系统,包括摄像机,通过摄像机采集柔性IC基板各部分的高分辨率数字图像;图像融合系统,用于将拍摄完成后的所有图像拼接成完整的柔性IC基板图像;氧化面积快速检测系统,用于对所拼接的柔性IC基板高分辨率图像进行RGB‑HSI彩色空间转换及拓扑映射处理确定氧化面积区域。
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