[发明专利]曝光机及遮光叶片有效
| 申请号： | 201710583019.7 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN107219729B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王维;林明文;江敏成;许俊安;熊定;蔡在秉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种曝光机及遮光叶片。该曝光机通过在第一前遮光叶片的竖直部中设置开口，使得第一前遮光叶片移动时空气可通过所述开口流动，进而减少第一前遮光叶片移动时第一前遮光叶片与光罩保护膜之间的气压下降，避免光罩保护膜被刮蹭，并通过在所述开口的顶部和侧部设置遮光板，避免曝光所用的紫外光从所述开口泄漏出去，保证第一前遮光叶片的遮光效果和曝光机的曝光效果，防止图形异常。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 遮光 叶片 | ||
【主权项】：
1.一种曝光机，包括：光罩载台(10)、光罩(61)、光罩保护膜(62)、第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)；所述光罩(61)设于所述光罩载台(10)的下方，所述光罩保护膜(62)遮挡所述光罩(61)远离所述光罩载台(10)的一侧表面，所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)位于所述光罩保护膜(62)远离所述光罩(61)的一侧并与所述光罩保护膜(62)间隔，且所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)沿水平方向相对设置；其特征在于，所述第一前遮光叶片(21)包括：竖直部(211)、与所述竖直部(211)的底边相连并往远离所述第一后遮光叶片(22)的一侧延伸的第一水平部(212)以及与所述竖直部(211)的顶边相连并往靠近所述第一后遮光叶片(22)的一侧延伸的第二水平部(213)，所述竖直部(211)上设有开口(214)，所述开口(214)的顶部及侧部均设有遮光片(215)。
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