[发明专利]溅射环件用凸结体滚花方法在审
| 申请号： | 201710590215.7 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109277771A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;冯周瑜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P9/02 | 分类号： | B23P9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种溅射环件用凸结体滚花方法，包括：提供凸结体；对所述凸结体的表面进行滚花。相较于现有技术中的喷砂处理，滚花操作能够使所述凸结体表面获得更高的粗糙度，增强凸结体表面吸附颗粒物的能力，避免发生颗粒物剥落现象。 | ||
| 搜索关键词： | 结体 滚花 颗粒物 环件 溅射 剥落现象 表面吸附 喷砂处理 粗糙度 | ||
【主权项】：
1.一种溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，包括：提供凸结体；对所述凸结体的表面进行滚花。
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