[发明专利]一种多源斜插式等离子体气体处理装置有效
| 申请号： | 201710592292.6 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN107281912B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 陈挺;刘文龙;周磊;徐晨 | 申请（专利权）人： | 浙江全世科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74 |
| 代理公司： | 31236 上海汉声知识产权代理有限公司 | 代理人： | 叶龙飞;胡晶 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州市滨江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多源斜插式等离子体气体处理装置，包括进气通道、减速腔、气体处理区、排气吸收装置和等离子体源，气体处理区的上端依次连有减速腔和进气通道，气体处理区的下端连有排气吸收装置；气体处理区包括若干个层式连接的气体处理腔，沿每个气体处理腔的周向设置若干排连通其腔体的等离子体源插入口，等离子体源插入口上设有等离子体源，其中，等离子体源的轴线与气体处理腔的中心轴所成的夹角为锐角。本发明在大流量的进气情况下，多个等离子体源同时工作，且各等离子体与待处理气体可以充分接触，大大提高了等离子体的气体处理效果和效率，具有结构简单，空间利率高，易维护和维修的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体源 气体处理区 气体处理腔 等离子体 进气通道 吸收装置 插入口 减速腔 排气 等离子体气体 充分接触 处理气体 处理装置 气体处理 周向设置 上端 大流量 夹角为 斜插式 易维护 中心轴 层式 多源 进气 腔体 锐角 下端 连通 利率 维修 | ||
【主权项】：
1.一种多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，包括进气通道、减速腔、气体处理区、排气吸收装置和等离子体源，所述的气体处理区的上端依次连有所述的减速腔和所述的进气通道，所述的气体处理区的下端连有所述的排气吸收装置；/n所述的气体处理区包括若干个层式连接的气体处理腔，沿每个所述的气体处理腔的周向设置若干排连通其腔体的等离子体源插入口，所述的等离子体源插入口上设有所述的等离子体源，其中，所述的等离子体源的轴线与所述的气体处理腔的中心轴所成的夹角为锐角；/n待处理的气体沿所述的进气通道进入所述的减速腔，减速后进入所述的气体处理区，经多级所述的等离子体源处理，进入所述的排气吸收装置吸收处理后，排出至外界；/n所述的气体处理腔的形状为圆柱形，并由若干个所述的气体处理腔层式连接组成圆柱形的所述的气体处理区；所述的进气通道的形状为圆柱形，所述的减速腔的上端面和下端面均为圆形，其中，所述的减速腔上端面的直径等于所述的进气通道下端面的直径，所述的减速腔下端面的直径等于所述的气体处理腔上端面的直径。/n
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