[发明专利]调节光学装置的方法有效
| 申请号： | 201710604021.8 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN107621756B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | J·拜耳;S·弗里切;F·施罗德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军;王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种调节尤其是光刻设备(100A、100B)的光学装置(200)的方法，所述光学装置包括可移动部件(326，700)、参考部件(318，346，702)和光学部件(202，706)，其中可移动部件(326，700)由机械操作连接件(328，704)连接到光学部件(202，706)，该方法包括以下步骤：a)将可移动部件(326，700)关于参考部件(318，346，702)固定在机械限定的位置(NP)(S1)，b)光学测量光学部件(202，706)，以获取光学测量结果(OM)(S2)，以及c)根据光学测量结果(OM)调节光学装置(200)(S8)。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 光学 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种调节尤其是光刻设备(100A、100B)的光学装置(200)的方法，所述光学装置(200)包括可移动部件(326，700)、参考部件(318，346，702)以及光学部件(202，706)，其中所述可移动部件(326，700)由机械操作连接件(328，704)连接到所述光学部件(202，706)，所述方法包括以下步骤：a)将所述可移动部件(326，700)关于所述参考部件(318，346，702)固定在机械限定的位置(NP)(S1)，b)光学测量所述光学部件(202，706)，以获取光学测量结果(OM)(S2)，以及c)根据所述光学测量结果(OM)调节所述光学装置(200)(S8)。
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