[发明专利]有机电致发光器件及其制造方法

摘要

本发明提供一种有机电致发光器件及其制造方法，包括基板，依次成膜于基板上方的第一金属层、第一无机层、半导体层、第二无机层、第二金属层、第三无机层，其中，第三无机层上成形有通孔，并且通孔是通过两次刻蚀形成的，通孔呈台阶状，通孔包括第一孔、台阶以及第二孔，第二孔的最小直径大于第一孔的最大直径。本发明解决了低温多晶硅无法应用于大尺寸玻璃的问题，同时工艺简单，能够节约成本提高生产效率，通过对第三无机层进行两次刻蚀，使得现有制程后裸露的金属层有一层无机保护，从而解决了现有技术中裸露的金属层被氧化的问题，提高了器件寿命及良率。

主权项

1.一种有机电致发光器件(100)，包括：基板(1)；形成在所述基板(1)上方的第一金属层(2)；形成在所述第一金属层(2)上方的无机层，所述无机层包括至少三层无机层，所述至少三层无机层包括第一无机层(3)、第二无机层(5)、以及第三无机层(7)；形成在第一无机层(3)和第二无机层(5)之间的半导体层(4)；形成在第二无机层(5)和第三无机层(7)之间的第二金属层(6)；其中，所述第三无机层(7)上形成有通孔(13)，所述通孔(13)呈台阶状，所述通孔(13)包括第一孔(13a)、台阶(14)以及第二孔(13b)，所述第二孔(13b)的最小直径大于所述第一孔(13a)的最大直径；所述有机电致发光器件(100)还包括孔(131)，孔(131)通过无机层(72)呈台阶状，无机层(72)是第三无机层(7)的一部分且无机层(72)覆于所述第二金属层(6)上方。