[发明专利]LTPS阵列基板及内嵌式触摸屏

摘要

本发明提供一种LTPS阵列基板，包括玻璃基板、制备于玻璃基板表面的缓冲层、制备于缓冲层表面的栅绝缘层、制备于栅绝缘层表面的间绝缘层，间绝缘层表面形成有源极金属、漏极金属与连接源极金属的数据线，还包括位于间绝缘层之上的平坦化层；以及保护层，制备于间绝缘层表面，且覆盖源极金属、漏极金属、数据线以及触控信号连接线，平坦化层制备于保护层表面；有益效果为本发明提供的LTPS阵列基板，通过制备保护层将薄膜晶体管的源/漏极金属与平坦化层隔绝，进而保护源/漏极金属免受水汽腐蚀。

主权项

一种LTPS阵列基板，其特征在于，包括设置于阵列基板中间的显示区域，以及设置于所述阵列基板边缘的非显示区域；所述显示区域内阵列分布有薄膜晶体管；所述阵列基板包括：玻璃基板；LTPS器件，制备于所述玻璃基板表面；所述LTPS器件包括有源层，所述有源层包括沟道区、位于所述沟道区一侧的源极掺杂区、以及位于所述沟道区相对另一侧的漏极掺杂区；栅绝缘层，制备于所述LTPS器件表面；栅极金属、栅线，所述栅极金属和所述栅线均设置于所述栅绝缘层表面，所述栅极金属与所述栅线连接；间绝缘层，制备于所述栅绝缘层表面；源极金属、漏极金属、数据线，形成于所述间绝缘层表面，所述源极金属、所述漏极金属和所述数据线位于所述显示区，所述源极金属通过源极通孔连接于所述源极掺杂区，所述漏极金属通过漏极通孔连接于所述漏极掺杂区；保护层，制备于所述间绝缘层表面，且覆盖所述源极金属、所述漏极金属和所述数据线；平坦化层，制备于所述保护层表面；其中，所述保护层用于防止穿透所述平坦化层的水汽与所述源极金属、所述漏极金属、所述数据线中的至少一者接触。