[发明专利]一种低成本铌管靶的制造方法有效
| 申请号： | 201710611021.0 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN107299327B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 王延龙;彭凌剑;李军 | 申请（专利权）人： | 北京兴荣源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22D19/16;B23P15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100085 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于磁控溅射用管状靶材制造技术领域。本发明提供了一种低成本铌管靶的制造方法，即通过将铌管靶非溅射区域用低成本的钛替代高成本铌，达到降低成本的目的。具体包括如下步骤：通过真空电子束熔炼并浇铸成型的铌管坯，将铌管坯内、外壁车削干净。然后在真空状态下通过电渣炉将熔融的纯钛液浇铸并充满铌管坯的内孔，形成铌钛复合棒。冷却之后，对铌钛复合棒开中心孔，然后加热并挤压成需要的尺寸规格；校直处理后，通过机加工铌钛复合管的内外表面，得到需要尺寸的铌管靶。通过这种工艺可以减少铌用量的25～40％，因此有效的降低了铌管靶的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低成本 铌管靶 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于：通过将铌管靶非溅射区域用低成本的钛替代高成本铌，达到降低成本的目的；具体是通过真空电子束熔炼并浇铸成型的铌管坯，将铌管坯内、外壁车削干净，然后在真空状态下通过电渣炉将熔融的纯钛液浇铸并充满铌管坯的内孔，形成铌钛复合棒；冷却之后，对铌钛复合棒开中心孔，然后加热并挤压成需要的尺寸规格；校直处理后，通过机加工铌钛复合管的内外表面，得到需要尺寸的铌管靶。
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