[发明专利]一种湿制程机台的腔室

摘要

本发明公开了一种湿制程机台的腔室，腔室设置有向其提供第一溶液的第一管道，腔室包括：清洁装置，与第一管道连通，以使得第一管道可以向清洁装置提供用于清洁腔室的第二溶液，清洁装置包括清洁管道，清洁管道设置在腔室内，清洁管道上设置有多个喷淋件，当清洁装置对腔室进行清洁时，清洁装置通过多个喷淋件可以对腔室进行无死角的清洁。通过上述方式，本发明能够对腔室进行无死角的清洁，有效降低机台对产品的不良影响以及减少待加工产品上的残留颗粒，从而有效提高产品的良率以及刻蚀效果。

主权项

一种湿制程机台的腔室，所述腔室设置有向其提供第一溶液的第一管道，其特征在于，所述腔室包括：清洁装置，与所述第一管道连通，以使得所述第一管道可以向所述清洁装置提供用于清洁所述腔室的第二溶液，所述清洁装置包括清洁管道，所述清洁管道设置在所述腔室内，所述清洁管道上设置有多个喷淋件，当所述清洁装置对所述腔室进行清洁时，所述清洁装置通过所述多个喷淋件可以对所述腔室进行无死角的清洁。