[发明专利]增幅型I-line光阻组合物

摘要

一种增幅型I‑line光阻组合物，包括：一聚羟基苯乙烯衍生物树脂；一光酸引发剂；以及一小分子促进剂，为如下式(I‑1)至式(I‑3)所示的任一化合物：其中，X1至X7、R1至R12、n1、n2及m如说明书中所定义。

主权项

1.一种增幅型I‑line光阻组合物，包括：一聚羟基苯乙烯衍生物树脂；一光酸引发剂；以及一小分子促进剂，为如下式(I‑1)至式(I‑3)所示的任一化合物：其中，X₁、X₂、X₃、X₄、X₅、X₆及X₇各自独立为且R_a为经取代或未经取代的C_1‑20烷基、或经取代或未经取代的C_3‑30环烷基，或R_a与O、和O相邻的C原子及甲基一同形成一五元或六元的杂环基；每一R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆、R₇、R₈、R₉、R₁₀、R₁₁及R₁₂各自独立为氢、经取代或未经取代的C_1‑20烷基、经取代或未经取代的C_3‑30环烷基、经取代或未经取代的C_6‑14芳基、卤素或其中R_f为经取代或未经取代的C_1‑20烷基、或经取代或未经取代的C_3‑30环烷基，或R_f与O、和O相邻的C原子及甲基一同形成一五元或六元的杂环基；A为一单键、经取代或未经取代的C_1‑20亚烷基、经取代或未经取代的C_3‑30亚环烷基、经取代或未经取代的亚芴基或其中R_b及R_c各自独立为经取代或未经取代的C_1‑20烷基，R_d及R_e各自独立为且R_g为经取代或未经取代的C_1‑20烷基、或经取代或未经取代的C_3‑30环烷基，或R_g与O、和O相邻的C原子及甲基一同形成一五元或六元的杂环基，而p1及p2各自独立为0至4的整数；n1及n2各自独立为1至3的整数；以及m为0至10的整数。