[发明专利]具有真空腔体的质谱检漏设备在审
| 申请号： | 201710638883.2 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN109323811A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 龙超祥 | 申请（专利权）人： | 深圳市远望工业自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 孙大勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有真空腔体的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其包括支撑架、真空腔体、示踪气体源及质谱检漏装置，所述真空腔体包括上盖体及下盖体，所述上盖体盖设在所述下盖体上，所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件，所述支撑座对应所述上盖体设置，用于承载所述支撑板组件，所述弹性支撑件一端固定于所述支撑座上，所述弹性支撑件另一端与所述支撑板组件弹性抵持，使得所述支撑板组件与所述支撑座弹性连接，所述支撑板组件用于承载所述待测箱体；本发明具有真空腔体气密性优良、开合步骤简单快捷及检漏效率高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑板组件 真空腔体 上盖体 下盖体 支撑座 弹性支撑件 质谱 检漏设备 承载 示踪气体源 弹性抵持 弹性连接 检漏装置 气密性 容纳腔 真空腔 支撑架 检漏 开合 密性 检测 | ||
【主权项】：
1.一种具有真空腔体的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，其包括支撑架、真空腔体、示踪气体源及质谱检漏装置，所述支撑架用于支撑所述真空腔体，所述真空腔体包括上盖体及下盖体，所述上盖体盖设在所述下盖体上，所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件，所述支撑座对应所述上盖体设置，用于承载所述支撑板组件，所述弹性支撑件一端固定于所述支撑座上，所述弹性支撑件另一端与所述支撑板组件弹性抵持，使得所述支撑板组件与所述支撑座弹性连接，所述支撑板组件用于承载所述待测箱体；所述示踪气体源用于为所述待测箱体提供示踪气体；所述质谱检漏装置与所述真空腔体导通连接，用于检测所述待测箱体泄漏到真空腔体的示踪气体的含量。
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