[发明专利]质谱检漏方法在审
| 申请号： | 201710640737.3 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN109323819A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 龙超祥 | 申请（专利权）人： | 深圳市远望工业自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/22 | 分类号： | G01M3/22 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 孙大勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种质谱检漏方法，包括如下步骤：S10、对密闭的真空腔体进行空箱检漏；S101、对检漏后获取的泄漏率进行校正；S11、将待测箱体置于真空腔体的容纳腔内；S12、控制前级泵对真空腔体的容纳腔进行抽气；S13、控制所述前级泵带动腔体真空泵对所述容纳腔同时进行抽气；S14、控制示踪气体源对所述待测箱体充入示踪气体，质谱检漏装置检测容纳腔内的所述示踪气体含量，依据所述示踪气体含量判断所述待测箱体是否符合预设条件。本发明具有检测效率快、准确率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 容纳腔 检漏 示踪气体 真空腔体 前级泵 抽气 质谱 示踪气体源 含量判断 检漏装置 预设条件 泄漏率 真空泵 检测 密闭 准确率 空箱 腔体 校正 种质 | ||
【主权项】：
1.一种质谱检漏方法，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，包括如下步骤：S10、对密闭的真空腔体进行空箱检漏；S101、对检漏后获取的泄漏率进行校正；S11、将待测箱体置于真空腔体的容纳腔内；S12、控制前级泵对真空腔体的容纳腔进行抽气；S13、控制所述前级泵带动腔体真空泵对所述容纳腔同时进行抽气；S14、控制示踪气体源对所述待测箱体充入示踪气体，检测容纳腔内的所述示踪气体含量，依据所述示踪气体含量判断所述待测箱体是否符合预设条件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市远望工业自动化设备有限公司，未经深圳市远望工业自动化设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710640737.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：泄漏点烟雾检测工艺及其装置
- 下一篇：一种阀门质量检测装置
