[发明专利]晶片任意倒角面软抛光装置和操作方法在审
| 申请号： | 201710641975.6 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107471032A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 周海;龚凯;徐晓明;韦嘉辉;宋放 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;C09G1/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 杨海军 |
| 地址： | 224053 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片任意倒角面软抛光装置，它包括抛光盘(12)，与抛光盘(12)相连的旋转轴(13)，与旋转轴(13)相连的第二电机(14)，抛光刷(11)，与抛光刷(11)相连的第一电机(10)，第一电机(10)固定在电机支架(9)上，电机支架(9)固定在水平转臂(7)上，水平转臂(7)与滑架(4)相连，滑架(4)通过内衬套(3)套在螺杆(2)上，螺杆(2)的外周设有衬套筒(5)，衬套筒(5)固定在支撑座(1)上。本发明结构设计合理，通过旋转的抛光刷对晶片进行粗抛光、精抛光加工，达到其倒角面抛光的目的，加工效率高，抛光后晶片的倒角面均匀性好，且可对倒角的任意面进行精确抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 任意 倒角 面软 抛光 装置 操作方法 | ||
【主权项】：
一种晶片任意倒角面软抛光装置，其特征在于：它包括：抛光盘(12)，与抛光盘(12)相连的旋转轴(13)，与旋转轴(13)相连的第二电机(14)，抛光刷(11)，与抛光刷(11)相连的第一电机(10)，第一电机(10)通过螺钉固定在电机支架(9)上，电机支架(9)通过内六角螺栓(8)固定在水平转臂(7)上，水平转臂(7)与滑架(4)相连，滑架(4)通过内衬套(3)套在螺杆(2)上，螺杆(2)的外周设有衬套筒(5)，衬套筒(5)固定在支撑座(1)上；所述的抛光盘(12)包括相互啮合连接的内齿轮(1202)、外齿轮(1203)和游星轮(1201)，所述的游星轮(1201)上开设有孔，承载盘(1204)通过螺钉(1206)固定安装在游星轮(1201)上，晶片(1205)通过石蜡均匀粘贴在承载盘(1204)上；所述抛光装置的螺杆(2)的顶部安装有固定盖板(6)；所述抛光刷(11)位于抛光盘(12)的上方，抛光刷(11)包括刷炳(1101)、与刷炳(1101)相连的刷头(1102)和安装在刷头(1102)上的刷毛(1103)。
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