[发明专利]一种平面式蒸发源以及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201710643162.0 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107267922B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 姚固;王玉;曾苏伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，公开一种平面式蒸发源以及蒸镀装置，平面式蒸发源包括基座、加热模块以及均热平坦层，加热模块固定设置在基座上；均热平坦层设置在加热模块上，且均热平坦层背离加热模块的一面形成用于承载有机材料薄膜的有机材料薄膜承载面，均热平坦层用于在加热模块加热时使有机材料薄膜受热均匀以形成蒸发方向垂直于有机材料薄膜承载面的有机材料蒸汽，热量在传导至均热平坦层后进行均热，使得整个平面的温度具有较好的均一性，保证平面式蒸发源能均匀的将上方的有机薄膜垂直蒸发出去，而由于有机材料薄膜承载面与待蒸镀的玻璃基板相平行，保证了在玻璃基板上形成的蒸镀薄膜厚度均一，可以减小蒸镀的阴影距离，有利于提高分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 蒸发 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种平面式蒸发源，其特征在于，包括基座、加热模块以及均热平坦层，其中：所述加热模块固定设置在所述基座上；所述均热平坦层设置在所述加热模块上，且所述均热平坦层背离所述加热模块的一面形成用于承载有机材料薄膜的有机材料薄膜承载面，所述均热平坦层用于在所述加热模块加热时使有机材料薄膜受热均匀以形成蒸发方向垂直于所述有机材料薄膜承载面的有机材料蒸汽。
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