[发明专利]直驱电机取晶装置有效
| 申请号： | 201710654300.5 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN107403749B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 贺云波;王波;吴晓明 | 申请（专利权）人： | 宁波知了智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 潘李亮 |
| 地址： | 315200 浙江省宁波市镇海区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种直驱电机取晶装置，包括用于吹吸空气的动力装置、电机、设置在电机转轴上的摆臂、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置与气口的气管，所述气管分为两部分，分别为第一气管以及第二气管，且所述电机的转子（1）内设有供空气流通的通道（2），所述第一气管一端与动力装置连通，第一气管另一端与电机的转子内的通道（2）一端连通，所述第二气管一端与电机的转子内的通道（2）另一端连通，且第二气管另一端与摆臂上的气口连通。这种取晶装置工作时气路稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 电机 装置 | ||
【主权项】：
一种直驱电机取晶装置，包括用于吹吸空气的动力装置、电机、设置在电机转轴上的摆臂、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置与气口的气管，其特征在于：所述气管分为两部分，分别为第一气管以及第二气管，且所述电机的转子（1）内设有供空气流通的通道（2），所述第一气管一端与动力装置连通，第一气管另一端与电机的转子内的通道（2）一端连通，所述第二气管一端与电机的转子内的通道（2）另一端连通，且第二气管另一端与摆臂上的气口连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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