[发明专利]一种掩膜版搬运装置

摘要

本发明公开了一种掩膜版搬运装置，掩膜版包括基层和设置在基层上的保护层，基层表面开设有镂空图案，保护层的四周延伸至临近基层四周的侧壁，掩膜版搬运装置包括：框架，包括矩形的框体部分；多个夹持机构，设置在框体部分的下方，包括端部具有凹槽的夹持部，至少两组夹持机构分别位于框体部分的两相对边所在侧，且两组夹持机构的凹槽相对设置；以及调节机构，连接框架和夹持机构，用于调节框架和夹持部之间的相对位置关系，以改变两组夹持机构的凹槽之间的间距。本发明通过设计一种专门的掩膜版搬运装置，可以仅仅夹持掩膜版上层的基层，而不会接触到下方的保护层，搬运方便，避免了人手对于掩膜版的污染，提高了作业效率。

主权项

1.一种掩膜版搬运装置，所述掩膜版包括基层（1）和设置在所述基层（1）上的保护层（2），所述基层（1）表面开设有镂空图案，所述保护层（2）的四周延伸至临近所述基层（1）四周的侧壁，其特征在于，所述掩膜版搬运装置包括：框架（10），包括矩形的框体部分（11）和两组延伸臂（12）；多个夹持机构（20），设置在所述框体部分（11）的下方，包括连接臂（21）和端部具有凹槽（22a）的夹持部（22），两组所述夹持机构（20）分别位于所述框体部分（11）的两相对边所在侧，且所述两组夹持机构（20）的所述凹槽（22a）相对设置；以及调节机构，连接所述框架（10）和所述夹持机构（20），用于调节所述框架（10）和所述夹持部（22）之间的相对位置关系，以改变所述两组夹持机构（20）的所述凹槽（22a）之间的间距；所述调节机构包括两个平行且相对设置的支架（32）、两根第一导杆（33）和锁紧件（34），所述框体部分（11）的两相对侧各设有一个所述支架（32），所述夹持机构（20）通过所述连接臂（21）固定在对应的所述支架（32）的内侧；所述支架（32）的两端、所述框架（10）的两端分别开设有引导孔，所述第一导杆（33）穿设于两端的所述支架（32）的引导孔和中间的所述框架（10）的引导孔内，所述锁紧件（34）固定在所述第一导杆（33）的两端；两组所述延伸臂（12）分别自所述框体部分（11）的两相对边朝底部垂直延伸，每组所述延伸臂（12）包括两条所述延伸臂（12），每个所述延伸臂（12）上连接有一个所述夹持机构（20）和所述调节机构。