[发明专利]吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备有效
申请号: | 201710661318.8 | 申请日: | 2017-08-04 |
公开(公告)号: | CN107227443B | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 罗程远 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 阚梓瑄;王卫忠 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备,吸附遮挡装置包括盒体、多片翻转片以及连动机构。盒体一面具有开口。多片翻转片相互平行地排列于开口,每片翻转片的正面设有吸附膜。联动机构设于盒体且连接于各翻转片,用以驱动各翻转片同步翻转,使吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换。吸附状态下,各翻转片的正面朝外,并封闭开口,遮挡状态下,各翻转片的反面朝外,并封闭开口。本发明吸附状态下,各翻转片的正面朝外且封闭盒体的开口,以利用翻转片正面的吸附膜吸附有机材料粉末。遮挡状态下,各翻转片的反面朝外且封闭盒体的开口,以将吸附状态下吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体中,避免有机材料粉末的飞升。 | ||
搜索关键词: | 吸附 遮挡 装置 具有 设备 | ||
【主权项】:
1.一种吸附遮挡装置,包括:盒体,一面具有开口;多片翻转片,相互平行地排列于所述开口,每片所述翻转片的正面设有吸附膜;以及联动机构,设于所述盒体且连接于各所述翻转片,用以驱动各所述翻转片同步翻转,使所述吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换;吸附状态下,各所述翻转片的正面朝外,并封闭所述开口,遮挡状态下,各所述翻转片的反面朝外,并封闭所述开口。
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