[发明专利]一种超细熔融石英硅微粉的生产方法在审
申请号: | 201710662110.8 | 申请日: | 2017-08-04 |
公开(公告)号: | CN109384242A | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 郭涛 | 申请(专利权)人: | 江苏锡沂高新区科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/18 | 分类号: | C01B33/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221400 江苏省徐州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种超细熔融石英硅微粉的生产方法,该产品属于石英精加工领域;本发明以优质高纯石英块为原料,通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产超细熔融石英硅微粉,该生产方法具有:生产工艺简单、生产成本低、无污水废气排放、可批量生产出超细熔融石英硅微粉,产品主要用大规模集成电路。 | ||
搜索关键词: | 熔融石英 硅微粉 超细 研磨 生产 大规模集成电路 精加工领域 生产成本低 高纯石英 污水废气 磁选 分级 石英 生产工艺 破碎 排放 | ||
【主权项】:
1.一种超细熔融石英硅微粉的生产方法,该方法以优质高纯石英块为原料,通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产纳米级超细熔融石英硅微粉,其特征是:(1)将优质高纯石英块送入破碎机破碎,得到直径小于3毫米的熔融石英砂;(2)将熔融石英砂送入磁选机,将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除,磁选时间为0.3‑0.4小时;(3)将磁选后的熔融石英砂送到研磨机进行研磨,控制研磨机的进料和出料速度均衡,保持研磨时间为2.5‑3.0小时;(4)经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨,研磨时间为4.5‑5.0小时,研磨后送振动筛进行筛分,粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨,粒度低于1.5微米的出料包装即可。
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