[发明专利]一种超细熔融石英硅微粉的生产方法在审

专利信息
申请号: 201710662110.8 申请日: 2017-08-04
公开(公告)号: CN109384242A 公开(公告)日: 2019-02-26
发明(设计)人: 郭涛 申请(专利权)人: 江苏锡沂高新区科技发展有限公司
主分类号: C01B33/18 分类号: C01B33/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221400 江苏省徐州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种超细熔融石英硅微粉的生产方法,该产品属于石英精加工领域;本发明以优质高纯石英块为原料,通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产超细熔融石英硅微粉,该生产方法具有:生产工艺简单、生产成本低、无污水废气排放、可批量生产出超细熔融石英硅微粉,产品主要用大规模集成电路。
搜索关键词: 熔融石英 硅微粉 超细 研磨 生产 大规模集成电路 精加工领域 生产成本低 高纯石英 污水废气 磁选 分级 石英 生产工艺 破碎 排放
【主权项】:
1.一种超细熔融石英硅微粉的生产方法,该方法以优质高纯石英块为原料,通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产纳米级超细熔融石英硅微粉,其特征是:(1)将优质高纯石英块送入破碎机破碎,得到直径小于3毫米的熔融石英砂;(2)将熔融石英砂送入磁选机,将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除,磁选时间为0.3‑0.4小时;(3)将磁选后的熔融石英砂送到研磨机进行研磨,控制研磨机的进料和出料速度均衡,保持研磨时间为2.5‑3.0小时;(4)经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨,研磨时间为4.5‑5.0小时,研磨后送振动筛进行筛分,粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨,粒度低于1.5微米的出料包装即可。
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