[发明专利]一种清洗夹具

摘要

本发明公开了一种清洗夹具，包括夹具底座、夹具顶盖、夹具固定杆。其中，夹具底座上设置有多条第一通道，每条第一通道均为具有中空结构的中空槽，中空槽的横截面为等腰梯形，等腰梯形的下底边靠近夹具顶盖，等腰梯形的上底边远离夹具顶盖，等腰梯形的上底边边长长度小于待清洗的芯片表面短边的长度；夹具顶盖上设置有多条第二通道，每条第二通道均为具有中空结构的中空槽，中空槽的横截面为长方形，长方形的中空槽平行于等腰梯形上底边或下底边的边长长度小于芯片表面短边的长度；夹具底座与夹具顶盖通过夹具固定杆固定连接。本发明的清洗夹具可实现单次多片、多规格芯片的高可靠性、高效率无损伤清洗，解决了现有技术问题。

主权项

一种清洗夹具，其特征在于，包括：夹具底座、夹具顶盖和夹具固定杆；其中，所述夹具底座上设置有多条第一通道，每条所述第一通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为等腰梯形，所述等腰梯形的下底边靠近所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边远离所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边边长长度小于待清洗的芯片表面短边的长度；所述夹具顶盖上设置有多条第二通道，每条所述第二通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为长方形，所述长方形的中空槽平行于所述等腰梯形上底边或下底边的边长长度小于所述芯片表面短边的长度；所述夹具底座与所述夹具顶盖通过所述夹具固定杆固定连接。