[发明专利]一种线宽测量设备和方法

摘要

本发明公开了一种线宽测量设备和方法。该线宽测量设备至少一个超声波收发装置；位置调整装置，所述位置调整装置与所述至少一个超声波收发装置相连接，用于调整所述至少一个超声波收发装置的位置，使得所述至少一个超声波收发装置位于显示基板的布线之间；计算装置，与所述至少一个超声波收发装置相连接，用于根据所述至少一个超声波收发装置发出超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间来计算线宽。本发明解决了现有线宽测量设备受灯光强弱影响导致测量结果准确度低的问题。

主权项

1.一种线宽测量设备，其特征在于，包括：至少一个超声波收发装置；位置调整装置，所述位置调整装置与所述至少一个超声波收发装置相连接，用于调整所述至少一个超声波收发装置的位置，使得所述至少一个超声波收发装置位于显示基板的布线之间；计算装置，与所述至少一个超声波收发装置相连接，用于根据所述至少一个超声波收发装置发出超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间来计算线宽；所述至少一个超声波收发装置中的每一个包括两个超声波收发单元，所述计算装置为与所述至少一个超声波收发装置通信连接的单片机，所述单片机选通所述至少一个超声波收发装置中的超声波收发单元，并统计超声波收发时间间隔，根据所述时间间隔输出线宽测量值；显微镜，与所述位置调整装置相连接，所述位置调整单元与所述单片机通信连接，所述单片机与上位机通信连接，所述位置调整单元根据所述上位机的第一指令带动所述显微镜做左右、前后和/或升降运动，以确定所述至少一个超声波收发装置进行测量时所处的位置，所述位置调整单元还根据所述上位机的第二指令带动所述至少一个超声波收发装置做左右、前后和/或升降运动，以使所述至少一个超声波收发装置位于所述显示基板的布线之间。