[发明专利]基板移送装置有效
| 申请号： | 201710669589.8 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN107777358B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 金基哲;李昌镛;朴奇洪 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G54/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的基板移送装置包括由以基板的移送方向为基准配置于后方的第一辅助板及配置于前方的第二辅助板构成的主板及通过所述主板向所述基板提供超声波使得能够在将所述基板浮起的状态下进行移送的超声波提供部，可以调节使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。本发明的基板移送装置利用超声波浮起基板，能够利用超声波的强度差移送基板，因此能够省略移送引导部。由于本发明的基板移送装置能够去除与基板接触的部分，从而能够防止摩擦引发的碎粒。 | ||
| 搜索关键词： | 移送 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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