[发明专利]一种喷涂式刻蚀槽

摘要

本发明公开了一种喷涂式刻蚀槽，包括刻蚀槽、水泵以及喷嘴，刻蚀槽的内侧壁上对称设置有固定板，固定板中开设有滑槽，滑槽内活动设置有滑块，滑块中开设有安装槽，安装槽内侧壁上固定有定轴，且喷嘴通过管道与水泵连通，刻蚀槽侧壁上固定有固定环，所述安装柱上固定有移动环，所述固定环与移动环通过连接线相连；所述刻蚀槽安装有固定板的内侧壁上水平设置有滚轮。本发明通过喷嘴和水泵的配合，可以很好的完成刻蚀液对硅片侧壁的喷涂，可以针对不同尺寸的硅片进行喷涂，非常方便，使得硅片在扩散面背面刻蚀的过程中，完成对硅片侧壁的刻蚀，在节约了大量时间的同时，还可以提高硅片刻蚀质量，十分有效。

主权项

一种喷涂式刻蚀槽，包括刻蚀槽(1)、水泵(2)以及喷嘴(9)，其特征在于：所述刻蚀槽(1)的内侧壁上对称设置有固定板(3)，所述固定板(3)中开设有滑槽(4)，所述滑槽(4)内活动设置有滑块(5)，所述滑块(5)中开设有安装槽(6)，所述安装槽(6)内侧壁上固定有定轴(7)，所述定轴(7)上活动连接有安装柱(8)；所述喷嘴(9)固定于安装柱(8)上，且喷嘴(9)通过管道与水泵(2)连通，所述刻蚀槽(1)侧壁上固定有固定环(10)，所述安装柱(8)上固定有移动环(11)，所述固定环(10)与移动环(11)通过连接线(12)相连；所述刻蚀槽(1)安装有固定板(3)的内侧壁上水平设置有滚轮(13)。