[发明专利]基于小波变换模极大值的白光反射动态测量薄膜厚度方法在审
| 申请号： | 201710704876.8 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107504908A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 郑永军;卫银杰;王东辉;李文军;范伟军 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 杭州奥创知识产权代理有限公司33272 | 代理人： | 王佳健 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于小波变换模极大值的白光反射动态测量薄膜厚度方法。该方法将白光反射率谱信号进行尺度为4的二进小波变换，然后寻找各尺度上的模极大值和传播点并进行阈值处理和筛选，以此达到消除噪声的效果，最后通过求取白光反射率谱的特征值，即其最后一个波谷对应的光波波长进行快速判断从而求出薄膜厚度。本发明增强了对待测膜厚测量的准确度和速度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 变换 极大值 白光 反射 动态 测量 薄膜 厚度 方法 | ||
【主权项】：
基于小波变换模极大值的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，包括如下步骤：1)令白光的光源垂直地入射待测薄膜，以获取WLRS原始信号；2)将步骤1所得的WLRS原始信号进行二进小波变换；3)寻找各尺度上所有小波系数的模极大值点；4)对步骤3)中的模极大值进行阈值处理；5)寻找传播点，并予以筛选；6)重构小波系数，恢复WLRS信号；7)对步骤5得到的去噪后的WLRS信号提取特征值，通过特征值求得待测薄膜的膜厚。
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