[发明专利]紫外光复合光栅及等离子装置有效
| 申请号： | 201710710260.1 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN109407189B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 薛仁傑;苏庆忠;卢玠甫;卢竹佑;于隆基 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露有关于一种紫外光复合光栅及等离子装置。此紫外光复合光栅包含第一格栅及第二格栅。第一格栅设有多个第一穿孔，及第二格栅设有多个第二穿孔，且第一穿孔及第二穿孔是交错设置。第一格栅是由不透光材料所制成，且第二格栅是由滤光材料所制成。紫外光复合光栅可滤除波长小于180nm的紫外光。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 复合 光栅 等离子 装置 | ||
【主权项】：
1.一种紫外光复合光栅，其特征在于，该紫外光复合光栅包含：一第一格栅，设有多个第一穿孔，其中该第一格栅是由一不透光材料所制成；以及一第二格栅，对准并平行于该第一格栅，其中该第二格栅设有多个第二穿孔，所述多个第二穿孔错开所述多个第一穿孔，该第二格栅是由一滤光材料所制成，该滤光材料滤除波长小于180nm的紫外光。
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