[发明专利]一种基板预烘烤装置在审
| 申请号： | 201710713293.1 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107577119A | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 何恒忠 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板预烘烤装置，包括烘烤箱体，其内部为烘烤容腔，所述烘烤箱体的一侧面设有侧门开口；侧门，安装于所述侧门开口处；加热机构，设于所述烘烤容腔中；热风幕系统，设于所述烘烤箱体的侧门处；当所述侧门开启时，所述热风幕系统用于在所述侧门开口处形成隔绝所述烘烤容腔与外界环境的热风幕。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板预 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
一种基板预烘烤装置，其特征在于，包括烘烤箱体，其内部为烘烤容腔，所述烘烤箱体的一侧面设有侧门开口；侧门，安装于所述侧门开口处；加热机构，设于所述烘烤容腔中；热风幕系统，设于所述烘烤箱体的侧门处；当所述侧门开启时，所述热风幕系统用于在所述侧门开口处形成隔绝所述烘烤容腔与外界环境的热风幕。
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