[发明专利]一种硅片定位机构有效
| 申请号： | 201710718788.3 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN107658255B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 张学强;戴军;张建伟;贾宇鹏 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片定位机构，包括：固定底座；设于固定底座上的驱动组件；以及设于固定底座上的左右限位组件，其中，左右限位组件包括滑动配接于固定底座上的左限位板及右限位板，左限位板与右限位板平行且间隔设置以形成位于两者之间的定位通道，左限位板与右限位板在驱动组件的驱动下选择性地相互靠近或远离。根据本发明，其在提高硅片水平度及对中度精度同时，还能够提高定位对中的效率，从而进一步提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 定位 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片定位机构(3)，其特征在于，包括：固定底座(31)；设于固定底座(31)上的驱动组件(32)；以及设于固定底座(31)上的左右限位组件(34)，其中，左右限位组件(34)包括滑动配接于固定底座(31)上的左限位板(341)及右限位板(342)，左限位板(341)与右限位板(342)平行且间隔设置以形成位于两者之间的定位通道，左限位板(341)与右限位板(342)在驱动组件(32)的驱动下选择性地相互靠近或远离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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