[发明专利]一种阵列基板、显示面板及其制备方法

摘要

本申请提供一种阵列基板、显示面板及其制备方法，以改善现有技术制作的阵列基板上的部分薄膜晶体管漏电流较高，在显示装置工作中无法快速、准确地关断的问题。该阵列基板的制作方法，包括在衬底基板之上形成非晶硅薄膜；在所述非晶硅薄膜之上的部分区域形成激光阻挡层，所述激光阻挡层在所述衬底基板上的正投影与用于形成具有预设电子迁移率第一薄膜晶体管的第一有源区图案在所述衬底基板上的正投影重叠；在所述激光阻挡层的遮挡下，采用激光照射所述非晶硅薄膜；将照射后的所述非晶硅薄膜转化为图案化的有源层。

主权项

一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板之上形成非晶硅薄膜；在所述非晶硅薄膜之上的部分区域形成激光阻挡层，所述激光阻挡层在所述衬底基板上的正投影与用于形成具有预设电子迁移率第一薄膜晶体管的第一有源区图案在所述衬底基板上的正投影重叠；在所述激光阻挡层的遮挡下，采用激光照射所述非晶硅薄膜；将照射后的所述非晶硅薄膜转化为图案化的有源层，其中，所述有源层的图案包括用于制作所述第一薄膜晶体管的所述第一有源区图案，以及用于制作第二薄膜晶体管的第二有源区图案，所述第一薄膜晶体管的电子迁移率小于所述第二薄膜晶体管的电子迁移率。