[发明专利]一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺

摘要

本发明公开了一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺，包括步骤：选取镜片，确定折射率和镀膜膜系结构为A+(B+C)^m+D+E；其中A层为SiO₂，B层、C层为金属的氧化物或氟化物，D为内保护层，E为外保护层；使用溅射法镀上A层；蒸镀法镀上各层B层和C层；用电子束蒸镀法镀上D层和E层。本发明结合多种现有工艺对不同的膜层选择性处理，且合理设计膜系结构，使膜系的可靠性和光学性能的保持性得到本质上的保证，本发明所镀的膜具有较好的光学性能，对可见光透过率最高可达96.7%，并具有较长的使用寿命。

主权项

1.一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：（1）、选取镜片，折射率在1.45‑1.8之间，确定镀膜膜系结构为A+(B+C)^m+D+E；其中A层为SiO₂，所述B层为氧化铝、氧化镁、氧化锌中的一种，所述C为氟化镁、氟化钙中的一种，D为内保护层，所述内保护层D为TiO₂层或Ti₃O₅层； E为外保护层，所述外保护层E为Si₃N₄层，m=2或3；（2）、使用溅射法镀上A层；（3）、将镜片置于可旋转的工件盘上，选取蒸发角度范围在55~75°，放入热气流蒸镀室，蒸镀室温度80~88℃，相对湿度75±5%，同时工件盘旋转，旋转时镜片绕其形心作平面回转运动，按此法依次镀上各层B层和C层；（4）、（3）步骤后镜片缓慢冷却，用电子束蒸镀法对镜片镀上D层和E层。