[发明专利]一种硅片承载器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种硅片承载器，涉及硅片加工生产领域，包括承载器本体，承载器本体包括若干对称设置的插片槽，插片槽上下贯通，插片槽底部设有可拆卸的长条形的缓冲垫，承载器本体位于同一侧插片槽的两侧面对称设有长条形的穿设孔，穿设孔设在插片槽的最低高度，承载器本体上靠近其中一个穿设孔设有收放轮，缓冲垫的一端收卷在收放轮上，另一端依次穿过穿设孔并固定。本发明大大降低了硅片的破损率，同时具有结构简单、使用和清理方便的优点。

主权项

一种硅片承载器，包括承载器本体（1），所述承载器本体（1）包括若干对称设置的插片槽（2），其特征在于：所述插片槽（2）上下贯通，所述插片槽（2）底部设有可拆卸的长条形的缓冲垫（3），所述承载器本体（1）位于同一侧插片槽（2）的两侧面对称设有长条形的穿设孔（4），所述穿设孔（4）设在插片槽（2）的最低高度，所述承载器本体（1）上靠近其中一个穿设孔（4）设有收放轮（5），所述缓冲垫（3）的一端收卷在收放轮（5）上，另一端依次穿过所述穿设孔（4）并固定。