[发明专利]一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置

摘要

本发明公开了一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括固定在地面上的下气室和反应腔室，所述下气室一侧外壁开有第一通孔，且第一通孔内壁套接有水蒸气管，所述下气室靠近水蒸气管一侧外壁开有第二通孔，且第二通孔内壁套接有Zn（C₂H₅）₂气管，所述上气室顶部外壁开有第三通孔，且Zn（C₂H₅）₂气管远离下气室一端套接在第三通孔内壁上，所述反应腔室内壁两侧卡接有同一沉淀板，且反应腔室内壁一侧开有第四通孔。本发明通过设置了螺旋混合管，采用螺旋式混合方式，混合面积较大，循环气管可以使气体反复进入反应腔室和螺旋混合管，配合设置在沉淀板之间的送气斗，可以均匀的多层沉淀，是沉淀均匀充分利用原材料。

主权项

1.一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括固定在地面上的下气室（1）和反应腔室（4），其特征在于，所述下气室（1）侧壁上开有第一通孔，且第一通孔内套接有水蒸气管（2），所述下气室（1）靠近水蒸气管（2）的侧壁上开有第二通孔，且第二通孔内套接有Zn（C₂H₅）₂气管（3），所述下气室（1）顶部侧壁开有第三通孔，且Zn（C₂H₅）₂气管（3）远离下气室（1）一端套接在第三通孔内，所述反应腔室（4）内壁两侧卡接有同一沉淀板（10），且反应腔室（4）侧壁上开有第四通孔，且第四通孔内套接有进气管（7），所述进气管（7）底部外壁套接有循环气管（11），且循环气管（11）外壁开有气孔（12），所述循环气管（11）远离反应腔室（4）一侧套接在第三通孔内，所述进气管（7）顶部外壁通过三通管套接有螺旋混合管（8），且螺旋混合管（8）一侧外壁套接有第一送气管（6），螺旋混合管（8）另一侧外壁套接有第二送气管（9），所述第一送气管（6）和第二送气管（9）底部外壁均焊接有送气斗（5），所述下气室（1）顶部焊接有连通下气室（1）和反应腔室的单向透气板（13）。