[发明专利]一种控制掺杂曲线一致性的方法

摘要

本发明公开了一种控制掺杂曲线一致性的方法，属于光伏技术领域。该方法包括进舟步、升温步、氧化步、分步沉积、升温推结步、降温退火步、出舟步，其中，分步沉积为，在炉尾到炉口存在温度梯度的情况下，通入氮气、氧气、掺杂源气体进行预沉积；其扩散工艺采用分步多次沉积的方法，增加硅片表面掺杂源的掺杂均匀性，并且通过设计沉积步温度，使各温区温度从炉尾到炉口依次增加，形成温度梯度，增加了炉口区域的掺杂源在硅中的固溶度，补偿了炉口区域掺杂源掺杂过少的问题，保证了表面浓度的一致性及各区域掺杂源掺杂量的一致性，进而保证硅片结深一致性；通过该方法使扩散工艺的掺杂曲线更一致，电性能参数更加一致，提升了组件的CTM。

主权项

1.一种控制掺杂曲线一致性的方法，其特征在于，包括如下步骤：进舟步，升温步，氧化步；分步沉积，在炉尾到炉口存在温度梯度的情况下，通入氮气、氧气、掺杂源进行预沉积；所述掺杂源为磷源或硼源；所述温度梯度为：当掺杂源为磷时，温度在775～795℃范围内从炉尾到炉口逐渐升高；当掺杂源为硼时，温度在990～1010℃范围内从炉尾到炉口逐渐升高；在分步沉积之后还包括升温推结步，升温推结步包括高温推结步，高温推结步的炉口到炉尾温度设置相同；在升温推结步之后进行降温退火步，出舟步。