[发明专利]一种彩膜基板及其制作方法在审
| 申请号： | 201710755807.X | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN107621720A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 李世春;张创优 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G02F1/1339;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种彩膜基板的制作方法，先在黑色矩阵层和彩色滤光层上形成由光阻材料构成的透明层，预烘烤，通过初步的热交联反应，光阻材料在整个基板上有一定的抗蚀刻强度；然后从衬底基板的上方对所述透明层进行正面曝光，显影，将透明层上未被曝光的部位部分性的除掉，进而同时得到平坦层和位于平坦层上的主、副隔垫物；最后在上述基础上进行高温烘烤，使材料完全稳定固化。通过本发明制作出来的彩膜基板上的平坦层和隔垫物部牢固结合，且具有较好的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 彩膜基板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种彩膜基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：在衬底基板(100)上形成黑色矩阵(101)；S2：在形成S1的基础上形成彩色滤光层(102)；S3：在形成S2的基础上，覆盖含有交联剂的光阻材料形成的透明层(103)；S4：对透明层(103)进行预烘烤，同时交联剂促进光阻材料内的丙烯酸树脂进行初步热交联反应；S5：采用掩膜板对形成S4基础上的透明层(103)进行曝光，显影，形成平坦层(104)、主隔垫物(105)和副隔垫物(106)。
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