[发明专利]玻璃合成用流体供给装置有效
| 申请号： | 201710756151.3 | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN107795546B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 高城充;幅崎利已 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | F15B20/00 | 分类号： | F15B20/00;F15B13/02;F15B21/08 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种玻璃合成用流体供给装置，其在从停电等异常时进行恢复供电时等在使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，也能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。具有对反应容器(11)供给腐蚀性流体的腐蚀性流体供给线(L1)和在腐蚀性流体供给线(L1)设置的MFC(15)，在流过MFC(15)的腐蚀性流体的路径中，在比MFC(15)上游侧的腐蚀性流体供给线(L1)和比MFC(15)下游侧的腐蚀性流体供给线(L1)分别设置有通过电磁阀(16a、16c)进行操作的空气式操作阀(17a、17c)，空气式操作阀(17a、17c)全部是常闭型，在比MFC(15)下游侧设置的空气式操作阀(17c)的工作压力高于在比MFC(15)上游侧设置的空气式操作阀(17a)的工作压力。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 合成 流体 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃合成用流体供给装置，其具有：腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体；以及流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。
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