[发明专利]膜材封装冶具和OLED的金属膜的封装方法有效
| 申请号： | 201710760610.5 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107579163B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 田彪;陈仕伦;赵利豪;潘天峰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜材封装冶具和OLED的金属膜的封装方法，所述膜材封装冶具包括：机台框架、充气分离层和吸附装置。所述机台框架的上表面上设有具有一定深度的凹槽；所述充气分离层设在所述凹槽内，用于充气驱动所述充气分离层向上变形以完成膜材封装工艺。根据本发明实施例的膜材封装冶具，可以提高膜材封装的效率，稳定性及良率。 | ||
| 搜索关键词： | 封装 oled 金属膜 方法 | ||
【主权项】：
一种膜材封装冶具，其特征在于，包括：机台框架，所述机台框架的上表面上设有具有一定深度的凹槽；充气分离层，所述充气分离层设在所述凹槽内，用于充气驱动所述充气分离层变形以完成膜材封装工艺；吸附装置，所述吸附装置用于吸附待封装膜材。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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