[发明专利]一种显示面板、其制作方法及显示装置有效
申请号: | 201710765411.3 | 申请日: | 2017-08-30 |
公开(公告)号: | CN107393870B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 徐德智;宫奎 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77;H01L27/12 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种显示面板、其制作方法及显示装置,该制作方法,包括:在衬底基板上形成第一金属层的图形,以及位于第一金属层背离衬底基板一侧的金属氧化物导电层的图形,且金属氧化物导电层通过至少一个通孔与第一金属层电性连接;其中,在形成金属氧化物导电层的图形之前,在第一金属层远离衬底基板一侧的表面形成一层还原金属层;在形成金属氧化物导电层的图形之后,对还原金属层和金属氧化物导电层进行处理,以使还原金属层氧化为第二金属层,以及金属氧化物导电层靠近衬底基板一侧的表面还原出金属颗粒。本发明实施例提供的制作方法,可以避免第一金属层与金属氧化物导电层接触而发生氧化,并减小接触电阻,提高显示效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】:
一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:在衬底基板上形成第一金属层的图形,以及位于所述第一金属层背离所述衬底基板一侧的金属氧化物导电层的图形,且所述金属氧化物导电层通过至少一个通孔与所述第一金属层电性连接;其中,在形成所述金属氧化物导电层的图形之前,在所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的表面形成一层还原金属层;在形成所述金属氧化物导电层的图形之后,对所述还原金属层和所述金属氧化物导电层进行处理,以使所述还原金属层氧化为第二金属层,以及所述金属氧化物导电层靠近所述衬底基板一侧的表面还原出金属颗粒。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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