[发明专利]一种扫描系统在审
| 申请号： | 201710775091.X | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107421964A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 陈子琪 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/952 | 分类号： | G01N21/952 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 葛聪慧,王宝筠 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供的扫描系统，包括至少一个探针、至少一个扫描驱动装置和一个旋转装置，所述探针的个数与所述扫描驱动装置的个数相同，一个所述扫描驱动装置上安装有一个所述探针。在一个扫描周期内时，扫描驱动装置控制探针位置保持不变，探针按照扫描驱动装置的驱动频率对被测样品进行扫描，而采用旋转装置带动被测样品旋转，因此，采用上述扫描系统对圆形被测样品进行扫描时，所得到的扫描轨迹为圆形。从而，提供了一种能够获得圆形的扫描轨迹的扫描系统，对圆形被测样品进行扫描时，不会遗漏该圆形被测样品上，表征该被测样品形貌的重要的点，能够得到圆形被测样品的准确的扫描结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 系统 | ||
【主权项】：
一种扫描系统，其特征在于，包括：至少一个探针、至少一个扫描驱动装置和一个旋转装置，所述探针的个数与所述扫描驱动装置的个数相同，一个所述扫描驱动装置上安装有一个所述探针；所述旋转装置，在扫描时带动被测样品旋转；所述扫描驱动装置，控制安装在所述扫描驱动装置上的所述探针对所述被测样品进行扫描；所述探针，对所述被测样品进行扫描，在一个扫描周期中，所述探针位置不变，所述一个扫描周期是扫描一个圆周所用的扫描的时间。
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